ОПИСАНИЕ
Оборудование для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока с тремя мишенями может быть оснащено источником питания постоянного тока и источником питания ВЧ. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт. Его можно использовать для получения однослойных или многослойных ферроэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т. д.
По сравнению с обычным плазменным напылением магнетронное напыление имеет преимущества высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Мишень магнетрона снабжена водоохлаждаемой прослойкой. Водяной охладитель может эффективно отводить тепло и избегать накопления тепла на поверхности мишени, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.
Компактный дизайн, баланс объема и производительности, красивый внешний вид и комплексный функционал. Вся машина управляется сенсорным экраном и встроенной программой нанесения покрытия с помощью одной кнопки, проста в эксплуатации и является идеальным оборудованием для подготовки тонких пленок в лаборатории.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Источник питания | 220-240В, однофазный, 50/60Гц |
| Мощность | 6кВт |
| Предельный вакуум | 5х10-4 Па |
| Предметный стол | |
| Размер | Ø150мм |
| Температура нагрева | 500°С (макс.) |
| Контроль температуры | ±1°С |
| Скорость вращения | регулируемая, 1-20 об/мин |
| Магнетронная напылительная головка | |
| Количество | 3шт, 2" |
| Режим охлаждения | Водяное охлаждение |
| Чиллер | Циркуляционный, 10л/мин |
| Вакуумная камера | |
| Размер | Ø300мм х 340мм |
| Материал | Нержавеющая сталь, SUS |
| Обзор | Просмотрровое окно, Ø100мм |
| Режим открытия | открытого типа, легкозаменяемая мишень |
| Регулятор расхода газа | Одноканальный, 200см3, Ar |
| Вакуумный насос | Молекулярный, 600л/с |
| Кварцевый вибрационный толщиномер | 1 комплект, разрешение 0,10 ангрестрем |
| Источник питания напылителя | Источник питания постоянного тока, 500Вт, подходит для подготовки металлических пленок |
| Рабочий режим | Автоматический, All-in-one |
| Габариты | 1090 х 900 х 1250мм |
| Вес | ~350кг |
