Установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока с одной мишенью CY-MSP300S-DC

ОПИСАНИЕ

Установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока с одной мишенью CY-MSP300S-DC представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытий с магнетронным напылением. Она имеет характеристики стандартизации, модульности и настройки. Мишени магнетрона могут быть выбраны из 1" дюйма, 2" дюймов и 3" дюймов, в соответствии с размером подложки и покрытием. Мощный источник постоянного тока мощностью 1500 Вт, который можно использовать для высокоэнергетического металлического напыления. В соответствии с экспериментальными требованиями также могут быть выбраны источники питания постоянного или ВЧ-сигнала с другими характеристиками для выполнения операций покрытия различных материалов. эффективность ваших экспериментов.

ПРИМЕНЕНИЕ

Установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока с одной мишенью CY-MSP300S-DC может использоваться для получения однослойных ферроэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т. д. По сравнению с аналогичным оборудованием, эта установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением с одной мишенью не только широко используется, но также имеет следующие преимущества: небольшой размер и простота в эксплуатации. Это идеальное оборудование для лабораторной подготовки тонких пленок материала и особенно подходит для лабораторных исследований твердых электролитов, OLED и т. д.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Предметный стол
  • Габаритные размеры: Ø185 мм
  • Диапазон нагрева: 500 ℃ (макс.)
  • Вращение: 1-20 об/мин регулируемое
 Мишень с магнитным управлением
  • Тип мишени: круглая
  • Напыление в вакууме: 10Па-0,2Па
  • Диаметр мишени: Ø50-50,8 мм
  • Толщина мишени: 2-5 мм
  • Напряжение изоляции: >2000В
  • Кабель: SL-16
  • Температура головки: ≦ 65 ℃
 Нулевой резонаторный корпус
  • Обработка внутренних стен: Электролитическая полировка
  • Размер камеры:  Ø300 мм × 300 мм
  • Материал камеры: нержавеющая сталь 304
  • Смотровое окно: Окно кварцевое, диаметр Ø100мм
  • Метод открытия: Верхнее крышка с  вспомогательной опорой
 Система управления газом
  • Управление потоком: Массовый расходомер, диапазон 0-200см3 , Ar
  • Тип регулирующего клапана: Соленоидный клапан\
  • Статическое состояние регулирующего клапана: нормально закрытый
  • Измерение линейности: ± 1,5% полной шкалы
  • Воспроизводимость измерений: ± 0,2% полной шкалы
  • Измерение времени отклика: ≤ 8 секунд ( T95 )
  • Диапазон рабочего давления: 0,3 МПа
  • Давление клапана корпуса : 3МПа
  • Рабочая температура: 5-45℃
  • Материал корпуса: Нержавеющая сталь 316L
  • Скорость утечки корпуса клапана: 1 × 10-8Па м3/с
  • Соединения труб: 1/4 ″ компрессионный фитинг
  • Входной и выходной сигнал:0-5В
  • Источник питания: ± 15 В (± 5% ) (+ 15 В 50 мА , - 15 В 200 мА)
  • Габаритные размеры мм: 130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина)
  • Коммуникационный интерфейс: Протокол RS485 MODBUS
 Источник питания постоянного тока
  • Мощность: 500 Вт
  • Выходное напряжение: 0-600В
  • Длина синхронизации: 65000 секунд
  • Время запуска: 1-10 секунд
Измерение толщины пленки
  • Требования к питанию: Постоянный ток: 5 В (± 10 % ) Максимальный ток 400 мА
  • Разрешение: ± 0,03 Гц (5–6 МГц), 0,0136 Å / измерение (алюминий)
  • Точность измерения: ± 0,5% толщины + 1 отсчет
  • Период измерения: 100 мс -1 с /время (регулируемое)
  • Диапазон измерения: 500 000 Å (алюминий)
  • Частота кристалла: 6 МГц
  • Коммуникационный интерфейс: Последовательный интерфейс RS-232/485
  • Отображение цифр:8-разрядный светодиодный дисплей
Молекулярный насос
  • Скорость откачки молекулярного насоса: 80 л/с
  • Номинальная скорость: 65000об/мин
  • Значение вибрации: ≦ 0,1 мкм
  • Время запуска: ≦ 4,5 мин
  • Время простоя: <7мин
  • Метод охлаждения: с воздушным охлаждением
Охлаждение
  • Температура охлаждающей воды: ≦ 37 ℃
  • Расход охлаждающей воды: 1л/мин
  • Направление установки: По вертикали ±5°
  • Входной порт: 150CF
  • Выходной порт: KF40
 Форвакуумный насос
  • Скорость откачки: 1,1 л/с
  • Предельный вакуум: 5×10-2Па
  • Источник питания: 220 В/50 Гц
  • Мощность: 400 Вт
  • Входной порт: KF40
  • Выходной порт: KF25
  • Выпускной клапан: На вакуумной камере установлен пневматический и электронный клапан выпуска воздуха.
 Предельный вакуум установки   5×10-4 Па
Скорость наддува вакуумной камеры  2,5 Па/ч
 Программное обеспечение  1 комплект программного обеспечения для мониторинга и управления
 Тестовая мишень  2 медные мишени диаметром 2" дюйма и толщиной 3 мм

Дополнительная информация

  • Производитель: Производитель
  • Артикул: CY-MSP300S-DC

Медиа