ОПИСАНИЕ
Установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока с одной мишенью CY-MSP300S-DC представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытий с магнетронным напылением. Она имеет характеристики стандартизации, модульности и настройки. Мишени магнетрона могут быть выбраны из 1" дюйма, 2" дюймов и 3" дюймов, в соответствии с размером подложки и покрытием. Мощный источник постоянного тока мощностью 1500 Вт, который можно использовать для высокоэнергетического металлического напыления. В соответствии с экспериментальными требованиями также могут быть выбраны источники питания постоянного или ВЧ-сигнала с другими характеристиками для выполнения операций покрытия различных материалов. эффективность ваших экспериментов.
ПРИМЕНЕНИЕ
Установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока с одной мишенью CY-MSP300S-DC может использоваться для получения однослойных ферроэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т. д. По сравнению с аналогичным оборудованием, эта установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением с одной мишенью не только широко используется, но также имеет следующие преимущества: небольшой размер и простота в эксплуатации. Это идеальное оборудование для лабораторной подготовки тонких пленок материала и особенно подходит для лабораторных исследований твердых электролитов, OLED и т. д.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Предметный стол |
- Габаритные размеры: Ø185 мм
- Диапазон нагрева: 500 ℃ (макс.)
- Вращение: 1-20 об/мин регулируемое
|
| Мишень с магнитным управлением |
- Тип мишени: круглая
- Напыление в вакууме: 10Па-0,2Па
- Диаметр мишени: Ø50-50,8 мм
- Толщина мишени: 2-5 мм
- Напряжение изоляции: >2000В
- Кабель: SL-16
- Температура головки: ≦ 65 ℃
|
| Нулевой резонаторный корпус |
- Обработка внутренних стен: Электролитическая полировка
- Размер камеры: Ø300 мм × 300 мм
- Материал камеры: нержавеющая сталь 304
- Смотровое окно: Окно кварцевое, диаметр Ø100мм
- Метод открытия: Верхнее крышка с вспомогательной опорой
|
| Система управления газом |
- Управление потоком: Массовый расходомер, диапазон 0-200см3 , Ar
- Тип регулирующего клапана: Соленоидный клапан\
- Статическое состояние регулирующего клапана: нормально закрытый
- Измерение линейности: ± 1,5% полной шкалы
- Воспроизводимость измерений: ± 0,2% полной шкалы
- Измерение времени отклика: ≤ 8 секунд ( T95 )
- Диапазон рабочего давления: 0,3 МПа
- Давление клапана корпуса : 3МПа
- Рабочая температура: 5-45℃
- Материал корпуса: Нержавеющая сталь 316L
- Скорость утечки корпуса клапана: 1 × 10-8Па м3/с
- Соединения труб: 1/4 ″ компрессионный фитинг
- Входной и выходной сигнал:0-5В
- Источник питания: ± 15 В (± 5% ) (+ 15 В 50 мА , - 15 В 200 мА)
- Габаритные размеры мм: 130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина)
- Коммуникационный интерфейс: Протокол RS485 MODBUS
|
| Источник питания постоянного тока |
- Мощность: 500 Вт
- Выходное напряжение: 0-600В
- Длина синхронизации: 65000 секунд
- Время запуска: 1-10 секунд
|
| Измерение толщины пленки |
- Требования к питанию: Постоянный ток: 5 В (± 10 % ) Максимальный ток 400 мА
- Разрешение: ± 0,03 Гц (5–6 МГц), 0,0136 Å / измерение (алюминий)
- Точность измерения: ± 0,5% толщины + 1 отсчет
- Период измерения: 100 мс -1 с /время (регулируемое)
- Диапазон измерения: 500 000 Å (алюминий)
- Частота кристалла: 6 МГц
- Коммуникационный интерфейс: Последовательный интерфейс RS-232/485
- Отображение цифр:8-разрядный светодиодный дисплей
|
| Молекулярный насос |
- Скорость откачки молекулярного насоса: 80 л/с
- Номинальная скорость: 65000об/мин
- Значение вибрации: ≦ 0,1 мкм
- Время запуска: ≦ 4,5 мин
- Время простоя: <7мин
- Метод охлаждения: с воздушным охлаждением
|
| Охлаждение |
- Температура охлаждающей воды: ≦ 37 ℃
- Расход охлаждающей воды: 1л/мин
- Направление установки: По вертикали ±5°
- Входной порт: 150CF
- Выходной порт: KF40
|
| Форвакуумный насос |
- Скорость откачки: 1,1 л/с
- Предельный вакуум: 5×10-2Па
- Источник питания: 220 В/50 Гц
- Мощность: 400 Вт
- Входной порт: KF40
- Выходной порт: KF25
- Выпускной клапан: На вакуумной камере установлен пневматический и электронный клапан выпуска воздуха.
|
| Предельный вакуум установки |
≦ 5×10-4 Па |
| Скорость наддува вакуумной камеры |
≦ 2,5 Па/ч |
| Программное обеспечение |
1 комплект программного обеспечения для мониторинга и управления |
| Тестовая мишень |
2 медные мишени диаметром 2" дюйма и толщиной 3 мм |
